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16-18 2012

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1 Bykanov Alexander , Cymer Inc. San Diego, CA USA 1,
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2 Toth Andras -, Research Centre for Natural Sciences, Institute of Materials and Environmental Chemistry 5,

HELIUM PLASMA IMMERSION ION IMPLANTATION OF PET POLYMER
Tóth A., Veres M., Mohai M., Bertóti I., Szépvölgyi J.
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